Для Windows посмотрите на два инструмента Sysinternals (так как полученный Microsoft):
Если [ProcessExplorer] будет в режиме дескриптора, то Вы будете видеть дескрипторы, которые открыл процесс, выбранный в главном окне; если Проводник Процесса будет в режиме DLL, то Вы будете видеть DLLs и файлы с отображенной памятью, которые загрузил процесс.
Монитор процесса является усовершенствованным контрольным инструментом для Windows, который показывает файловую систему в реальном времени, Реестр и действие процесса/потока.
На платформах Unix можно использовать lsof | grep <pid> OR lsof -p <pid>
для просмотра всех файлов открываются конкретным процессом. Однако это не перечисляет Вас, какие файлы читаются или пишутся. Однако сценарий может быть сделан вычислить контрольные суммы файлов, чтобы узнать, пишется ли он или нет.